ISO14644-1潔凈室(shi)及相關受控(kong)環(huan)境(中文完整版(ban))
前(qian)言
ISO為全球各國標準化團體(ISO 會員團體)的(de)聯合會。其(qi)國際(ji)標準工作(zuo)一般是由ISO各技(ji)(ji)術(shu)(shu)委(wei)員會(hui)執行。每個會(hui)員團體(ti)若對技(ji)(ji)術(shu)(shu)委(wei)員會(hui)的某一(yi)課題感興(xing)趣,均有權(quan)作為此技(ji)(ji)術(shu)(shu)委(wei)員會(hui)的代表(biao)。任何(he)與(yu)ISO保持聯系的(de)國際(ji)組(zu)織,無論是(shi)政府(fu)的(de)還(huan)是(shi)非政府(fu)的(de)組(zu)織,同樣(yang)可參加(jia)此(ci)項(xiang)工作(zuo)。ISO與國際電(dian)氣技術(shu)委(wei)員(yuan)會(hui)(IEC)在電氣技術標準(zhun)化方面進(jin)行緊密合作。
國際標準(zhun)草案由其技術(shu)委(wei)員(yuan)會認可后送各會員(yuan)團體進行傳閱,以待(dai)表決。草案作為國際標準(zhun)頒布至少需(xu)要75%的會員團(tuan)體投贊成票。
國際標準ISO 14644-1由(you)ISO/TC209潔凈室及相(xiang)關受控環境技術委員會提(ti)出。
ISO 14644在潔凈室及相關受控環境的(de)總標題下,由(you)下述各部(bu)分(fen)組成(cheng):
第(di)1部分:空氣潔凈度等級劃分
第2部分:為認證與ISO 14644-1 連續(xu)的相符性的測(ce)試和(he)監測(ce)技(ji)術要求
第(di)3部分:計(ji)量和測試(shi)方法
第4部分:設計、施工(gong)和啟動
第(di)5部(bu)分(fen):運(yun)行
第(di)6部分(fen):術(shu)語和定(ding)義
第7部分:增強的潔凈(jing)裝置
用戶應注意,第2至第7部(bu)分的標(biao)題為第1部(bu)分(fen)(fen)發行時的工(gong)作(zuo)(zuo)標題。如果從工(gong)作(zuo)(zuo)計劃中刪除了一(yi)部(bu)分(fen)(fen)或幾部(bu)分(fen)(fen),剩(sheng)余部(bu)分(fen)(fen)可以重新編寫。
附(fu)錄B和C為ISO 14644的組成部分,附錄A、D、E和F僅作資料(liao)用(yong)。
引 言
潔凈室(shi)及相關受控環境保證(zheng)空氣中(zhong)懸浮(fu)粒子被控制(zhi)在合適的(de)級別,以確保完成對污(wu)(wu)染敏(min)感(gan)的(de)有(you)關活動。以下行業的(de)產品和(he)工藝均得益于空氣中(zhong)懸浮(fu)污(wu)(wu)染物的(de)控制(zhi):航天、微電子、醫藥、醫療器械、食品和(he)保健品。
ISO 14644的(de)本部分指定(ding)ISO分級的各級別,以此(ci)作為潔凈室及相關(guan)受控環(huan)境(jing)內空氣(qi)潔凈度的技術要求。本部分不僅確(que)定(ding)了空氣(qi)中懸浮(fu)粒子測(ce)試的程序,而且(qie)確(que)定(ding)了測(ce)試的標準方法。
為劃分等級(ji),ISO 14644的(de)本(ben)部分(fen)僅限(xian)于(yu)確定粒(li)子(zi)濃度(du)限(xian)值用的(de)指(zhi)定的(de)粒(li)徑范(fan)圍(wei)。本(ben)部分(fen)還提供了(le)標準協議,以依據大于(yu)或小于(yu)指(zhi)定分(fen)級(ji)用粒(li)徑范(fan)圍(wei)的(de)懸浮粒(li)子(zi)濃度(du)等級(ji)標識。
ISO 14644的本(ben)部分為潔(jie)凈室和污染控(kong)制系(xi)列標準中的一個(ge)標準。除懸(xuan)浮(fu)粒子潔(jie)凈度之外,還有許多(duo)因素必(bi)須(xu)在潔(jie)凈室及其受控(kong)環境的設計、技(ji)術要(yao)求、運(yun)行和控(kong)制中予以考慮。這些內容在ISO/TC209技術委員會(hui)制定的其(qi)它國際(ji)標準中(zhong)有詳細論述。
在某些情況(kuang)下,有關管理(li)機構可能會規定動作(zuo)一些補(bu)充的(de)(de)(de)政策(ce)或(huo)限制。這就(jiu)可能要(yao)求對標(biao)準的(de)(de)(de)測試程序(xu)作(zuo)適當的(de)(de)(de)修(xiu)改。
潔凈室及相關受控(kong)環境—
第1部分:
空氣潔凈度的分級
1 范圍
ISO 14644的本部分(fen)(fen)是根(gen)據空(kong)氣中(zhong)(zhong)懸浮粒子濃度(du)來劃分(fen)(fen)潔凈室及相關受控環境中(zhong)(zhong)空(kong)氣潔凈度(du)的等(deng)級(ji)。只(zhi)有在0.1μm-0.5μm的閾(yu)(yu)值(低于閾(yu)(yu)值)粒(li)徑范圍內呈累(lei)積分布的粒(li)子群體才可供分級用。
ISO 14644的(de)本部分(fen)不(bu)包含0.1μm-0.5μm規定粒(li)徑范圍(wei)以外的粒(li)子群體的分級。超(chao)微(wei)粒(li)子(<0.1μm )和(he)大(da)粒子(>0.5μm)可分(fen)別以U描述符和M描述符來量化粒子群體。
ISO 14644的(de)本部(bu)分不能(neng)用(yong)于表征懸浮粒子(zi)的(de)物(wu)理(li)性、化學性、放(fang)射性或生存性。
注(zhu)粒(li)徑遵紀(ji)守(shou)法增范圍(wei)內粒(li)子濃度的(de)(de)實際(ji)分布情況通常是不可預測的(de)(de),并(bing)且是隨著時間而變(bian)化的(de)(de)。
2 定義
下述定義適用于ISO 14644的本部分
2. 1 通則
2. 1. 1
潔凈室
空(kong)氣懸浮粒子濃(nong)度(du)受控的房間、房間的建設和使用方式要(yao)盡(jin)可能(neng)減少室(shi)內(nei)引入(ru)、產生和滯留粒子,室(shi)內(nei)其它相(xiang)關參數如(ru)溫度(du)、濕度(du)和壓力按要(yao)求(qiu)進行控制。
2. 1. 2
潔凈區
懸浮(fu)粒子濃度受控(kong)的限定(ding)空間(jian)。空間(jian)的建設和使用方(fang)式要盡可能減少區內引(yin)入、產生和滯留(liu)粒子,空間(jian)內其它相關參數如(ru)溫度、濕度和壓力按要求進(jin)行控(kong)制(zhi)。
注:該區(qu)可(ke)以是開放(fang)式(shi)或是密閉式(shi),可(ke)以位(wei)于或不位(wei)于潔凈室內。
2. 1. 3
設施
潔(jie)凈(jing)室或(huo)一個(ge)或(huo)多個(ge)潔(jie)凈(jing)區(qu),連同所有(you)相關的構筑物、空氣(qi)處理系統、動力和(he)公用(yong)設施。
2. 1. 4
分級(ji)
適用(yong)于一個的(de)懸(xuan)浮(fu)粒(li)子(zi)潔凈度等級(或(huo)規定或(huo)確定該等級的(de)過程(cheng)),以ISO等級(ji)N來表示(shi),它表示(shi)所考慮的粒徑(jing)的最(zui)大允許濃度(du)(以pc/m3 空(kong)氣計(ji))。
注1 此濃度用3.2中的公式(1)確定。
注2 按照(zhao)本國際標(biao)準進行分(fen)級,限定在ISO 1級至(zhi)ISO 9級(ji)。
注3適用(yong)于按本國際標準(zhun)分(fen)級的粒徑(低閾值)范圍限于0.1μm-0.5μm。分(fen)級范圍之外(wai)的閾值粒徑之空(kong)氣潔凈度(du)可以用U或(huo)M描述符(見(jian)2.3.1或2.3.2)來說明和規定(ding)(但不(bu)是分級)。
注4ISO 分級(ji)可以(yi)規定中間等級(ji)號,用(yong)最小允許遞增值0.1,規定為自(zi)ISO 1.1至8.9級。
注5等級可以按3種占用狀態(見2.4)規定或實(shi)現。
2. 2 懸浮(fu)粒子
2. 2. 1
粒子
用(yong)于空氣潔(jie)凈度分級(ji)的固體或(huo)液體物,其粒(li)徑閾(yu)值(低限)范(fan)圍在0.1μm-0.5μm,并呈(cheng)累積分布。
2. 2. 2
粒(li)徑(jing)
由給定的(de)粒徑測(ce)定儀響應出(chu)(與被(bei)測(ce)粒子作出(chu)的(de)響應當量)的(de)球體的(de)直徑。
注(zhu)離散(san)粒(li)子計(ji)數和光散(san)射儀(yi)器使用當(dang)量光學(xue)直徑。
2. 2. 3
粒子(zi)濃(nong)度
單(dan)位體積空(kong)氣(qi)中的(de)單(dan)個粒子數。
2. 2. 4
粒徑分(fen)布
作為(wei)粒徑(jing)函數的粒子(zi)濃度之累積分布。
2. 2. 5
超(chao)微粒子
當量直徑小(xiao)于0.1μm的粒子。
2. 2. 6
大(da)粒子
當量直徑(jing)大于0.5μm的粒子
2. 2. 7
纖維
長寬比(bi)等于(yu)或大于(yu)10的粒子。
2. 3 描述符
2. 3. 1
U描述符(fu)
測(ce)得(de)或規定的粒子(zi)濃度,即含超微粒子(zi)的濃度以pc/m3空氣計,
注U描述(shu)符可認為是采樣點(dian)平均(jun)值的上限(或置信(xin)上限,取決(jue)于(yu)用于(yu)確(que)定潔凈室或潔凈區特性的采樣點(dian)數目)不能(neng)用U描述符來定義且(qie)懸浮粒(li)子(zi)潔(jie)(jie)凈度等級,但可以單獨引(yin)用或(huo)與懸浮粒(li)子(zi)潔(jie)(jie)凈度等級一起引(yin)用。
2. 3. 2
M描述符(fu)
測(ce)得或規定的每m3空(kong)氣中(zhong)大粒(li)子的濃度,以作為所用(yong)測試(shi)方法特性的當量直徑來表示。
注M描(miao)述符可認為是采樣點平均值的(de)上限(xian)(或置信(xin)上限(xian),取決(jue)于用于確定(ding)潔(jie)凈室或潔(jie)凈區特(te)性的(de)采樣點數目)不(bu)能用M描述符來定義懸(xuan)浮(fu)粒子潔(jie)凈度(du)等級,但可以(yi)單獨引(yin)(yin)用或與懸(xuan)浮(fu)粒子潔(jie)凈度(du)等級一起引(yin)(yin)用。
2. 4 占用狀態
2. 4. 1
空態
設施已(yi)經建成,所有動力接通并(bing)運行(xing),但無(wu)生產(chan)設備、材(cai)料或人員在場。
2. 4. 2
靜態
設(she)施已(yi)經(jing)建成,生產設(she)備(bei)已(yi)經(jing)安裝好,并(bing)以用戶和供應(ying)商(shang)同意(yi)的方式運(yun)行,但沒(mei)有人(ren)員在場。
2. 4. 3
動態
設施(shi)以規定的(de)(de)方式運行,有規定數目的(de)(de)人員(yuan)在場,并以雙方同意的(de)(de)方式進行工(gong)作。
表1 潔(jie)凈室及(ji)潔(jie)凈區選(xuan)列(lie)的懸浮粒子潔(jie)凈度等級
ISO等級序數(N)
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大于(yu)或等于(yu)表中被考慮的粒徑的最大濃度限值
(pc/m3空氣濃度限值按3.2中(zhong)的公式(shi)計算)
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
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0.5μm
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1μm
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5μm
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ISO Class 1
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10
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2
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ISO Class 2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class 3
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1 000
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237
|
102
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35
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8
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ISO Class 4
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10 000
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2 370
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1 020
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352
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83
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ISO Class 5
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100 000
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23 700
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10 200
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3 520
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832
|
29
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ISO Class 6
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1 000 000
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237 000
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102 000
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35 200
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8 320
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293
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ISO Class 7
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352 000
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83 200
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2 930
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ISO Class 8
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3 520 000
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832 000
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29 300
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ISO Class 9
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35 200 000
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8 320 000
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293 000
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注(zhu):由(you)于涉及測(ce)量過程(cheng)的(de)不確(que)定性,故要(yao)求用三個有效的(de)數據來確(que)定濃度等級水(shui)平。
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2. 5 角色
2. 5. 1
用戶
負責規定潔(jie)凈(jing)室(shi)或(huo)潔(jie)凈(jing)區的要求的組織或(huo)其代理。
2. 5. 2
供應商(shang)
被聘用來滿(man)足規定的潔(jie)凈室(shi)或(huo)潔(jie)凈區的要(yao)求(qiu)的組織(zhi)。
3 等級(ji)
3. 1
占(zhan)用狀態
潔(jie)凈室(shi)或潔(jie)凈區內空氣的(de)(de)粒子潔(jie)凈度應按“空態”、“靜態”和“動態”三(san)種占用狀態中的(de)(de)一種或三(san)種(見2.4)進行定義。
注(zhu)應(ying)認(ren)識到“空態”適用于新(xin)建成(cheng)的(de)或(huo)新(xin)發行的(de)潔(jie)凈(jing)室或(huo)潔(jie)凈(jing)區。對“空態”的(de)測(ce)試(shi)完成(cheng)后(hou),即應(ying)進一(yi)步測(ce)試(shi)“靜態”或(huo)“動態”或(huo)兩種狀態。
3. 2
等級級別
空(kong)氣(qi)中懸(xuan)浮粒子潔凈度以等級序數N命名。各種被考慮粒徑D的(de)粒子Cn的最大允(yun)許濃度用下述(shu)公式確定:
式中(zhong),
Cn—大(da)于(yu)或(huo)行于(yu)被考慮粒(li)徑的粒(li)子最(zui)大(da)允許濃(nong)度(du)(pc/m3空氣)。Cn以(yi)有效(xiao)數為3位(wei)四舍五(wu)入到最靠近的整數。
N —ISO 等級級別(bie),最大不超(chao)過9。ISO 等級(ji)(ji)級(ji)(ji)別N之間的(de)中間數(shu)可以按0.1為最小(xiao)允許遞增值進行(xing)規定(ding)。
D —以微米(μm)計的(de)被選粒徑。
0.1 —為一常數,表示(shi)以微米(μm)計(ji)的量綱。
表1表示(shi)的(de)是被選擇的(de)懸浮粒子潔凈度等(deng)級和大于或(huo)等(deng)于表中所考(kao)慮(lv)粒徑的(de)粒子之相應濃度限值。圖(tu)A.1(見附錄A)以圖解形式表示(shi)出(chu)所選的(de)等級。在有(you)爭(zheng)議的(de)情況下,從公式(1)中(zhong)得到的濃度(du)Cn應作為標準(zhun)值。
3. 3 命名
潔凈室或潔凈區的懸(xuan)浮粒(li)子潔凈度(du)的命(ming)名(ming)應包括:
a)等級級別,以“ISO Class N”表示:
b)分組(zu)時的占用狀態:
c)按分級(ji)公式(1)測定(ding)的被考慮粒徑,各被考慮粒徑的閾值均(jun)在0.1μm-0.5μm的范圍內。
命名實例:
ISO Class 4:動態:被考慮粒徑:0.2μm (2370pc/m3),1μm(83pc/m3)
測(ce)量(liang)濃度的被考慮粒徑應(ying)得到用戶和供(gong)應(ying)商雙方的同意。
如果測量一個以上的被(bei)考慮粒徑(jing),各較(jiao)大的粒徑(jing)(如D2)應至少為下(xia)一(yi)個較小粒徑(如D1)的1.5倍。
即:D2≥1.5 ×D1
4 相符性認證
4. 1 原則(ze)
通過執行用戶和(he)供應商雙方同意的指定(ding)(ding)的測(ce)(ce)試程序,并提供關于測(ce)(ce)試條件(jian)和(he)測(ce)(ce)試結果的規定(ding)(ding)文件(jian),認證是否符合(he)用戶規定(ding)(ding)的空氣潔凈度(ISO class )要求。
4. 2 測(ce)試
附錄B中(zhong)給出了認證相符(fu)性的基準(zhun)(zhun)測試方法(fa)。也可(ke)以規(gui)定(ding)其它有類似準(zhun)(zhun)確性的方法(fa),如果沒有就其它方法(fa)作(zuo)出規(gui)定(ding)或達成(cheng)一致意見,則應該用(yong)基準(zhun)(zhun)方法(fa)。
應采用經過校舍準的(de)食品(pin)進(jin)行相符性認(ren)證測試。
4. 3 懸(xuan)浮粒子濃度(du)限值
按4.2完成測試(shi)后,按附(fu)錄C中的公式計算平均粒子(zi)濃度(du)和(he)95%置信上(shang)限(適用情況下)。
按公式(shi)(C.1)計算出的平(ping)均粒子濃度不應超過用3.2中公式(1)確定的濃度限值(zhi),其被考慮粒很(hen)應符合[3.3 c]的規定。
此外,如果采樣(yang)點數目至少為2個,但不(bu)超過9個,則按C.3計算的95%置信上(shang)限(xian)不應超過上(shang)面(mian)確定的濃度限(xian)值。
注(zhu)附錄D中給出等級計算的(de)工作實例。
對于(yu)各種(zhong)被考(kao)慮粒徑應(ying)用相同方法來測(ce)定,用于(yu)認證等級粒子(zi)濃(nong)度限值具有(you)一致性。
4. 4 測試報告
各潔凈(jing)(jing)(jing)室或潔凈(jing)(jing)(jing)區的測試結果均應(ying)記錄,應(ying)以綜合報告(gao)形式提(ti)交,并說明(ming)是(shi)否符合規定的是(shi)浮粒子(zi)潔凈(jing)(jing)(jing)度(du)命名等級。
測(ce)試報告應包括下述(shu)各項內(nei)容:
a)測試組織的名稱、地址和進行測試的日期;
b)ISO 14644本部分的(de)出版編號(hao)和年代(dai),即(ji)ISO 14644-1:當(dang)前版日期;
c)明確標明被測(ce)潔凈室(shi)或潔凈區的實際位置(必要(yao)時包(bao)括臨近的參(can)照區)及所有采樣點坐(zuo)標的具體(ti)標注(zhu);
d)規定的(de)對潔凈室或潔凈區命(ming)名準則,包(bao)括ISO等級、相關的(de)占用狀態和被考慮(lv)粒徑;
e)測試(shi)方法(fa)的詳細(xi)說明,包括(kuo)與(yu)測試(shi)有關的或偏離測試(shi)方法(fa)的特殊(shu)條件,及測試(shi)食品合格(ge)證和最近的標定證書;
f)測試結果,含各采樣點(dian)坐標的粒子濃度(du)數據(ju)。
注如果超微(wei)粒子或大粒子的濃度(du)已經按附(fu)錄E的(de)說明進行了量(liang)化,適當的(de)資料應包含在測試報告中。
附錄A
(資料)
表1中等(deng)級的圖解(jie)形式
圖(tu)A.1為圖(tu)解(jie)形式說(shuo)明表1中的空氣潔(jie)凈度等級,僅供演示(shi)用。表1中的(de)ISO待批(pi)等級在此用線條(tiao)表示(shi)出該等級的(de)被考慮(lv)閾值(zhi)粒徑(jing)的(de)濃度限值(zhi),其依據是用3.2中公(gong)式(shi)(1)進行的計算。由于(yu)線條表示的僅是近似的等(deng)級(ji)限值(zhi),因此不得用(yong)于(yu)定義限值(zhi)。限值(zhi)只能按照公(gong)式(1)確定(ding)。
圖示的等級線不可(ke)外(wai)推超過實(shi)心圓符號。實(shi)心圓符號是所示各ISO等級認可的最大和最小粒徑(jing)限值。
等(deng)級(ji)線不代表在潔凈室或潔凈區內呈現(xian)的實際粒徑(jing)分(fen)布(bu)。
注1 Cn表示大于(yu)或行于(yu)被考慮粒徑的懸(xuan)浮粒子最大允許濃度(pc/m3空氣(qi))。
注2N表示規定的ISO等級級別。
附錄B
(標準部(bu)分)
采用離散粒(li)子計(ji)數(shu)和光散射儀器確定微粒(li)潔凈度的等級
B.1 原理
使用離(li)散粒(li)子(zi)計數和光散射儀器確定(ding)在指定(ding)的采樣點上大于或(huo)等于規定(ding)粒(li)徑的懸浮粒(li)子(zi)的濃度。
B.2 儀(yi)器要求(qiu)
B.2.1 粒子計(ji)數儀
離散粒(li)子計數器(qi)(DPC)是(shi)一種(zhong)光散射裝置,具有顯示或(huo)記錄空氣中離散粒子(zi)(zi)的數目和粒徑(jing)的能(neng)力(li)和粒徑(jing)鑒別(bie)能(neng)力(li),可檢測(ce)到被測(ce)級別(bie)之適(shi)當(dang)粒徑(jing)范圍內的總粒子(zi)(zi)濃度,以及適(shi)當(dang)的采樣系統。
B.2.2 儀器標定
儀器應該有(you)有(you)效的標(biao)定(ding)證(zheng)書;標(biao)定(ding)的頻率和方法應按現行公(gong)認的規定(ding)執行。
B.3 預測試條件
B.3.1 測試(shi)準備
測試前,應按照技術性能要(yao)求(qiu)認證潔(jie)凈(jing)室或潔(jie)凈(jing)區作(zuo)為(wei)一個運行(xing)的整(zheng)體,是(shi)完整(zheng)的、功能是(shi)正(zheng)常的。
預(yu)測試工作一般包括:
a) 空氣流量或(huo)流速測試;
b) 空氣壓差測(ce)試;
c) 圍護結構泄漏測試;
d) 裝好的過濾器泄(xie)漏(lou)測試。
B.3.2 預測試設備配(pei)置
按照制造廠(chang)的說(shuo)明(ming)書進行設備(bei)配置和儀器的預測試(shi)標(biao)定。
B.4 采樣
B.4.1 確定采樣(yang)點位置
B.4.1.1
按公(gong)式(shi)(B.1)求出最少的采樣點數目:
式中,
NL —最(zui)少采樣點(dian)數(四(si)舍五入為(wei)整數)。
A —潔凈(jing)室或潔凈(jing)區的面積,以m2計。
注(zhu)在水(shui)平單向層流時,面積A可以看作是與氣(qi)流方向呈垂直流動的空氣(qi)的截面積。
B.4.1.2
要(yao)保(bao)證采樣點均勻分布于整個潔(jie)凈室或(huo)潔(jie)凈區內,并位(wei)于工作活動的高(gao)度。
如果(guo)用戶規定增加采樣(yang)點,其數目和位置(zhi)也應作出規定。
注增加(jia)的(de)采(cai)樣點可認(ren)為是(shi)風險(xian)分析的(de)關鍵。
B.4.2 確定各采樣點(dian)的(de)每次采樣量(liang)
B.4.2.1 指定的ISO等級(ji)如最大被考慮粒徑的粒子濃度的限值時,在每個(ge)采(cai)樣點要采(cai)集(ji)足夠的空氣量(liang),保證(zheng)能檢(jian)測(ce)出至少20個粒(li)子(zi)。
每個采樣點的每次采樣量VS用下式確定:
式中,
VS——每個采樣點每次最(zui)少采樣量(liang),用升表示(shi)(B.4.2.2 中(zhong)的情況除外(wai))。
Cn.m ——為相關等(deng)級(ji)規(gui)定的最(zui)大被(bei)考(kao)慮粒徑(jing)之(zhi)等(deng)級(ji)限(xian)值(pc/m3空氣(qi))。
20 ——當粒(li)子濃度處于該等級限值時,可被檢測(ce)到的粒(li)子數。
注(zhu):VS值很大時,需要的采樣(yang)時間可(ke)能會很長。利用順(shun)序采樣(yang)程序(見附錄F)既可(ke)以減少(shao)(shao)要求的采樣量,又(you)減少(shao)(shao)采樣需要的時(shi)間(jian)。
B.4.2.2
每個采(cai)樣(yang)點的采(cai)樣(yang)量至少為2升,采樣時間最(zui)少(shao)為1分鐘。
B.4.3 采樣程序
B.4.3.1
按照廠家(jia)說明(ming)書和儀表標(biao)定證書,調定粒子計(ji)數器(B2.1)
B.4.3.2
采樣探頭的位置應(ying)插入空氣流。若(ruo)被采樣的氣質(zhi)方(fang)向(xiang)(xiang)是未(wei)受控的或不可預計的(如非單向(xiang)(xiang)流),采樣控頭的入口應(ying)垂直指(zhi)向(xiang)(xiang)上方(fang)。
B.4.3.3
每個采樣點,按B4.2確定的最小采樣(yang)(yang)量采樣(yang)(yang)。
B.4.3.4
當只要求一個采樣(yang)點時(B4.1),則(ze)在該點(dian)最(zui)少進行(xing)三(san)次采樣。
B.5 結果記錄
B.5.1 各采樣(yang)點的(de)粒子平均濃(nong)度
B.5.1.1
把每次采樣測量的(de)結果與空氣潔凈度等級相關的(de)各個被(bei)考慮粒徑的(de)濃度(3.3)記錄下來。
注在進(jin)行95%置(zhi)信上限的計算之(zhi)前,應B6.1的要求。
B.5.1.2
當只用一(yi)個(ge)采樣點(dian)時(shi),計(ji)算并(bing)記錄各被考慮料徑的(de)采樣數據平均(jun)值(B.4.3.4)。
B.5.1.3
當在一個(ge)采(cai)樣點上采(cai)集(ji)2次以上采樣時,按(an)照(zhao)C.2中給定的程序,從每次采樣(yang)粒子(zi)濃度(B.5.1.1)計算各采樣點被考慮粒(li)徑的平均粒(li)子(zi)濃度,并記錄下(xia)結果。
B.5.2 計算95%置信上限(UCL)的要求
B.5.2.1
當采樣的(de)點多于1個(ge),少于(yu)10個時,按照C.3中(zhong)給(gei)定的程序,從所有(you)各點的平均粒(li)子(zi)濃度(B.5.1 )計算平均值、標準(zhun)誤差和(he)95%置信上限。
B.5.2.2
在采樣(yang)點只有1個(ge),或多于9個時,不用計算(suan)95%置信(xin)上限。
B.6 整(zheng)理
B.6.1 分級要求
如果在各采(cai)樣點測得的粒(li)子濃度平均值(zhi)及按(an)照B.5.2計算的95%置信(xin)上限未超(chao)過按3。2中(zhong)公式(1)確定的濃度(du)限值(zhi),該潔(jie)(jie)凈(jing)室或潔(jie)(jie)凈(jing)區即被認(ren)為(wei)是達到了規定的空氣潔(jie)(jie)凈(jing)度(du)級(ji)別。
如(ru)果(guo)測(ce)試結果(guo)未能滿(man)足(zu)規定的空(kong)氣(qi)潔(jie)凈度(du)級別,可增加(jia)均勻分布的采(cai)樣(yang)點進行測(ce)試。再(zai)次計算的結果(guo),包(bao)括增加(jia)的采(cai)樣(yang)點的數據,判斷確立潔(jie)凈度(du)等級。
B.6.2 界外值的處(chu)理
95%置信上(shang)限(xian)(UCL)計算(suan)結(jie)果可(ke)能沒能滿足(zu)規定的ISO等級。如果(guo)是(shi)因(yin)為(wei)(程序上的(de)(de)誤差或設(she)備功能(neng)不良造成的(de)(de))測(ce)量差錯或(由(you)于(yu)空(kong)氣異常(chang)的(de)(de)潔(jie)凈而導(dao)致)異常(chang)低(di)的(de)(de)粒子濃度,而產生單個(ge)的(de)(de)、非隨機性的(de)(de)“界外(wai)值(zhi)”,在(zai)符合(he)下(xia)述(shu)條(tiao)件(jian)的(de)(de)情況(kuang)下(xia),可(ke)以把(ba)該(gai)界外(wai)值(zhi)排除不計:
a) 包括所有其(qi)余采樣點的(de)計算是(shi)重復(fu)進行(xing)的(de);
b) 計算中至少保(bao)留有3次測(ce)量值;
c) 計(ji)算中至多只有1個測量值排除在外;
d) 有誤(wu)差的測(ce)量或粒子濃度低的推(tui)測(ce)原(yuan)因由(you)用戶和供應(ying)商(shang)認可,并(bing)以(yi)文件記錄下來(lai)。
注在采(cai)樣點,粒子(zi)濃度值的(de)(de)較大(da)差異可能是合理的(de)(de),甚至是有意造成的(de)(de),這(zhe)取決于待測(ce)潔(jie)凈設施的(de)(de)應用性質。
附(fu)錄(lu)C
(標(biao)準部(bu)分)
粒子(zi)濃度數據的統計處理
C.1 通則
統計分析只考慮隨機誤差(cha)(cha)(缺(que)乏精(jing)度),不考慮非隨機誤差(cha)(cha)(如,與(yu)誤差(cha)(cha)標定有(you)關的(de)偏差(cha)(cha))。
C.2 計算某一采樣點(Xi)的平(ping)均粒子濃度的算法(fa)
當在(zai)一個采樣點進(jin)行多次采樣時,應該(gai)用公式(shi)(C.1)來確(que)定該點(dian)的平均粒子(zi)濃度。平均粒子(zi)濃度的計算應該在采樣次數為2次(ci)以上的(de)各個采樣點進行(xing)。
式(shi)中,
Xi ——采樣點(dian)i(代(dai)表(biao)任何位(wei)置)的平均粒子濃度
Xi.1 ——每(mei)次采樣(yang)的粒子(zi)濃度
n ——在(zai)采(cai)樣點i的采樣次數(shu)
C.3 計算95%置(zhi)信上限的(de)算法(fa)
C.3.1 通(tong)則(ze)
本方法只適用于采(cai)樣點為1個以上,10個以下的情況。在(zai)這(zhe)種情況下,應(ying)該使用公式(shi)(C.1)的算法和本(ben)方法。
C.3.2 平(ping)均(jun)值的總均(jun)值
用(yong)公式(C.2)確定平(ping)均值(zhi)的總(zong)(綜合)平(ping)均值(zhi)
式中,
——采樣點平均(jun)值的(de)總均(jun)值
——用公式(C.1)得出的各個采樣點的平均值
m——采樣點(dian)的(de)總數
無論任何一個(ge)給定的采樣(yang)點的樣(yang)品數(shu)是(shi)多少,所胡單個(ge)采樣(yang)點的平均值都等量加權。
C.3.3 采樣點(dian)平均值的標(biao)準偏差(S)
用公(gong)式(C.3)確定采樣點平(ping)均值(zhi)的標準偏差。
附錄D
(資料部分)
等級計算的應用實例
D.1 例1
D.1.1
被測的潔(jie)凈室面積(A)為80m2。需(xu)要確(que)定其在(zai)動態(tai)下(xia)是(shi)否符(fu)合(he)規定的(de)懸浮規定的(de)懸浮粒子潔凈(jing)度等級。該(gai)潔凈(jing)室規定的(de)空氣(qi)潔凈(jing)度等級為ISO Class 5(5級)。
D.1.2
D.1.6
在各采(cai)樣(yang)點,只取一次(ci)采(cai)樣(yang)量(28升)(B.4.2.1)。測(ce)量中得到的計數記(ji)錄如下(xia)(B.5.1.1)。
采(cai)樣點
|
粒子數(≥0.3μm)
|
粒子(zi)數(≥0.5μm)
|
1
|
245
|
21
|
2
|
185
|
24
|
3
|
59
|
0
|
4
|
106
|
7
|
5
|
164
|
22
|
6
|
196
|
25
|
7
|
226
|
23
|
8
|
224
|
37
|
9
|
195
|
19
|
D.1.7
按原(yuan)始數據(D.1.6)計算粒(li)子pc/m3,Xi :
采樣(yang)點
|
Xi≥0.3μm
|
Xi≥0.5μm
|
1
|
8750
|
750
|
2
|
6607
|
857
|
3
|
2107
|
0
|
4
|
3786
|
250
|
5
|
5857
|
786
|
6
|
7000
|
893
|
7
|
8071
|
821
|
8
|
8000
|
1321
|
9
|
6964
|
679
|
0.3μm和0.5μm計算出(chu)的濃(nong)度值均低于D.1.3中確定的限(xian)值,滿足了等(deng)級的第一部分(B.6.1)要求,因此可以按附錄C進行(xing)95%的(de)置(zhi)信(xin)上限(xian)的(de)計算(suan)。
D.1.8
按公式(shi)(C.1)計算平均濃度(見C.2)是不適(shi)用的(de)(de)(de),因為采(cai)集的(de)(de)(de)量(liang)是單次采(cai)樣(yang)量(liang),代(dai)表各個點的(de)(de)(de)平均粒子濃度。平均值(zhi)的(de)(de)(de)總(zong)均值(zhi)要按公式(C.2)計算(見C.3.2)。
≥0.3μm的粒子:
D.1.11
按B.6.1對結果進行整理。在D.1.7中(zhong)各單次采(cai)樣量的(de)(de)粒子濃(nong)度低于規(gui)定的(de)(de)等級(ji)限值。在D.1.10中,計(ji)算出的(de)95%置(zhi)信上(shang)限值同樣低于(yu)在(zai)D.1.3中(zhong)規定的等(deng)級(ji)限值(zhi)。
因此,該潔凈室的(de)懸浮粒(li)子(zi)潔凈度符合要求的(de)級別。
D.2 實例2
D.2.1
本示例目的在于證實95%UCL的計算對結果的影響。
某一(yi)潔(jie)凈(jing)室規(gui)定(ding)懸(xuan)浮粒(li)子(zi)潔(jie)凈(jing)度為(wei)ISO 3級(ji),動態,采樣點數定為5個。由(you)于(yu)采樣點數多于(yu)1個,少于10個,應按附錄C計(ji)算95%置信上限。
只考(kao)慮一種粒徑(D≥0.1μm)。
D.2.2
ISO 3級,粒(li)徑≥0.1μm,從表1中取粒(li)子濃度限值:
Cn(≥0.1μm)= 1000 pc/m3
D.2.3
在各(ge)采(cai)樣點僅單次采(cai)樣,按(B.5.1.1)記錄各點(dian)的粒子(zi)濃(nong)度Xi pc/m3,并(bing)記(ji)錄如(ru)下。
采樣(yang)點Xi≥0.1μm
1 926
2 958
3 937
4 963
5 214
D=0.1μm時各粒(li)子濃度(du)值(zhi)小于D.2.2中確定(ding)的(de)限值。這個結(jie)果滿足了等(deng)級的(de)第(di)一部分(B.6.1),因此可以按附錄(lu)C進行95%置信上限的計算。
D.2.4
平均值的總均值要(yao)按公式(C.2)計算(見C.3.2)。
D.2.5
按公(gong)式(C.3)計(ji)算采樣點平均值的標準誤差(見C.3.3):
D.2.6
按公式(C.4)計(ji)算95%置信上限(UCL)(見(jian)C.3.4):
單個(ge)平均值m=5,取自表C.1中的分布系數t=2.1
D.2.7
各單次采樣量的粒(li)子濃度低于規定的等級限值(zhi)(D.2.2)。
但是,95%置(zhi)信上限的計算表明該潔凈室懸浮粒子潔凈度不符(fu)合規定的級別。
本(ben)示例說明(ming)按95%UCL的(de)計算結果,一個(ge)單采樣的(de)界外(wai)低(di)粒子濃度(du)(即采樣點5)所(suo)造成的(de)影響。
由于空氣潔凈度(du)的(de)等(deng)級之不相符(fu)性(xing)是因采用(yong)了(le)95%UCL,并由一(yi)個(ge)單次采樣的低粒(li)子(zi)濃度造(zao)成,可按照B.6.2中(zhong)的程序確定該不(bu)相符性是否可以作廢不(bu)計。
附錄E
(資料部分)
對等級(ji)表粒(li)徑之(zhi)外的粒(li)子之(zhi)粒(li)徑和計數的考慮(lv)
E.1 通則
在(zai)某些(xie)情況下,特別是與(yu)具體(ti)工(gong)藝(yi)要求相(xiang)連的情況下,可以依據等級(ji)表粒(li)徑(jing)范圍(wei)之外(wai)的粒(li)子(zi)群體(ti)規定另外(wai)適(shi)用的空氣潔凈度(du)級(ji)別。用戶和(he)供應商應就這(zhe)類粒(li)子(zi)的最大允許濃(nong)度(du)和(he)選擇驗證(zheng)相(xiang)符(fu)性的測試(shi)方法(fa)等問題達成(cheng)協議(yi)。在(zai)E.2(U描述符)和(he)E.3(M描述符)中給出了關于(yu)測試方法和規定(ding)的技術要(yao)求形(xing)式的考慮。
E.2 小于0.1μm的(de)粒子(超(chao)微粒子)的(de)評(ping)價——U描述符
E.2.1 應用
如果要評定小于(yu)0.1μm的粒子造(zao)成的污染(ran)危險,應(ying)采(cai)用適合于這類粒子具體特性的采(cai)樣裝置和測(ce)量程序。
應該按照B.4.1確定采樣點(dian)的數目(mu),最小采樣量Vs應(ying)為2L(B.4.2.2)
E.2.2 U描(miao)述符(fu)的形(xing)式
U描述符(fu)的(de)超微粒(li)子濃(nong)度(du)可以單獨應(ying)用,或者(zhe)是(shi)作(zuo)為懸浮粒(li)子潔(jie)凈(jing)度(du)級別(bie)的(de)補充來應(ying)用。U描述符用“U(x;y)”的形式表示,其中(zhong),
x——超微(wei)粒(li)子(zi)的最大允許濃度(以(yi)超微(wei)粒(li)子(zi)pc/m3空氣表示);
y——以(yi)微米計(ji)(ji)(ji)的粒徑的,用適宜的離散粒子計(ji)(ji)(ji)數器(qi)對這種粒子數計(ji)(ji)(ji)數時,計(ji)(ji)(ji)數效率為(wei)50%。
實(shi)例如粒(li)徑范圍為,最大允許(xu)超微粒(li)子的濃度為140000 pc/m3,其標識符為“U(140000;0.1μm)”。
注1 在IEST-G-CC1002[1]中給出了小于0.1μm的懸浮粒(li)子濃度測試方法(fa)。
注2 如果(guo)用U描述符作為懸浮粒子(zi)潔凈度級別的(de)補充(chong),超(chao)微(wei)粒子(zi)的(de)濃度(x)不得小(xiao)于規(gui)定的ISO等級之(zhi)0.1μm被考慮(lv)粒徑適(shi)用的粒子濃度限(xian)值(pc/m3)。
E.3 大于5μm的(de)粒(li)子(大(da)粒(li)子)的(de)評(ping)價(jia)——M描述符
E.3.1 應(ying)用(yong)
如(ru)果(guo)要(yao)評定(ding)大于5μm的(de)粒子(zi)造成的(de)污染危險,應采用(yong)適合于這類粒子(zi)具體(ti)特性的(de)采樣裝(zhuang)置和(he)測量程序。
懸浮粒(li)子(zi)群體中的(de)(de)(de)大粒(li)子(zi)主要(yao)是在工藝(yi)環境中釋放出的(de)(de)(de)粒(li)子(zi)。應(ying)該根(gen)據(ju)具體的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)來確定適用(yong)的(de)(de)(de)采樣裝置和測量程(cheng)序。需要(yao)考慮的(de)(de)(de)因素(su)有(you)粒(li)子(zi)的(de)(de)(de)密度、形狀、容積和空氣動(dong)力(li)特性。還(huan)可能需要(yao)特殊(shu)強(qiang)調(diao)的(de)(de)(de)在總懸浮粒(li)子(zi)中的(de)(de)(de)特殊(shu)成(cheng)份,如(ru)纖維。
E.3.2 M描述符的形式
M描(miao)述符(fu)可以單獨(du)應用,或(huo)者是作為(wei)懸浮粒子潔凈度級別的補充來應用。M描述符用“M(a; b); c”的形式(shi)表(biao)示,其(qi)中(zhong),
a——大(da)粒(li)子(zi)(zi)的最大(da)允許濃(nong)度(以大(da)粒(li)子(zi)(zi)pc/m3空氣表(biao)示);
b——當量直徑(jing)(或直徑(jing)),與規定的(de)測量大粒(li)子(zi)的(de)方法相關(以微米表示);
c——規定(ding)的測量方(fang)法
注1 如(ru)果(guo)采樣的懸浮粒子群體(ti)中(zhong)含(han)有纖維(wei),則可以向M描述(shu)符(fu)(fu)附加一個單獨的(de)纖維用描述(shu)符(fu)(fu),表示形式為(wei)Mfiber (a; b; ):c。
例1 如果使用(yong)測(ce)定粒子(zi)空氣動(dong)力直徑(jing)的浮游氣溶膠粒子(zi)計數器,粒徑(jing)范圍為≥5μm的(de)懸浮粒子的(de)濃(nong)度為(wei)10000 pc/m3,則其標識(shi)符為“M(10000;>5μm);浮游(you)氣溶膠粒(li)子計數器”。
例2 如果(guo)使(shi)用多級沖擊取樣器,然(ran)后再用顯微(wei)法測定粒徑(jing)并計數,粒徑(jing)范圍為10-20μm的(de)懸浮(fu)粒(li)子的(de)濃度為(wei)1000 pc/m3,則其標識符為“M(1000;10-20μm);多級沖擊采樣器,然后再用顯微法測定(ding)粒(li)徑(jing)并計數”。
注2 在IEST-G-CC1003[2]中(zhong)給出了大于(yu)5μm的懸(xuan)浮粒(li)子濃度(du)的測試方法(fa)。
注3 如果(guo)用(yong)M描述符(fu)作為(wei)懸浮(fu)粒子潔凈度級別的補充,大粒子的濃度(a)不得大于(yu)規定的ISO等級(ji)之(zhi)5μm被考(kao)慮粒(li)徑適用的粒(li)子嘗試限值(pc/m3)。
附(fu)錄(lu)F
(資(zi)料)
順序采樣(yang)法(fa)
F.1 背景和局限性
F.1.1 背景
若(ruo)采(cai)(cai)(cai)樣(yang)的空(kong)氣之污(wu)染程度(du)顯著大(da)于或小(xiao)于被考(kao)慮(lv)粒(li)徑的規(gui)定(ding)(ding)級別(bie)濃度(du),采(cai)(cai)(cai)用順(shun)序采(cai)(cai)(cai)樣(yang)法通(tong)常(chang)可(ke)大(da)幅度(du)減少采(cai)(cai)(cai)樣(yang)量(liang)和采(cai)(cai)(cai)樣(yang)時(shi)間。當嘗(chang)試接(jie)近規(gui)定(ding)(ding)限值時(shi),也可(ke)實現一(yi)定(ding)(ding)程度(du)的節省采(cai)(cai)(cai)樣(yang)量(liang)和時(shi)間。順(shun)序采(cai)(cai)(cai)樣(yang)法最適合于空(kong)氣潔凈度(du)期(qi)望達到(dao)ISO 4級或(huo)更潔(jie)凈的環境。
注(zhu)有關順序采樣(yang)法的(de)進(jin)一步資料,見IEST-G-CC 1004[3]。
F.1.2 局限性(順(shun)序采樣法的主要局限性有:)
a)此方(fang)法(fa)僅(jin)適用于被(bei)考慮(lv)粒徑的粒子在(zai)規定等級或濃度限值(zhi)時(shi),每(mei)次測量到(dao)20顆粒子的(de)采樣。
b)每次(ci)采樣測(ce)量要求輔助(zhu)監(jian)測(ce)和數據分析(xi),可以用計算(suan)機自動進行。
c)由于減(jian)少了采樣(yang)量,粒子濃(nong)度的確定不如常規采樣(yang)法(fa)精確。
F.2 順(shun)序采樣(yang)法的依據
此方法基于實時累積粒子(zi)計數與參考(kao)計數值(zhi)的對比。參考(kao)數值(zhi)由求上下限值(zhi)的公式(shi)得出:
上(shang)限(xian)值(zhi):C=3.96+1.03E (F.1)
下(xia)限值:C=-3.96+1.03E (F.2)
式(shi)中,
C 為觀(guan)察到計數
E 為期望(wang)計數
為(wei)了便(bian)于比較(jiao),在圖F.1圖形的形式,表F.1以表(biao)格的形(xing)式提供(gong)了參考值。兩種形(xing)式均(jun)可(ke)采用
表F.1 對于時間應(ying)達到C觀察(cha)到(dao)計數值時的(de)上下限值
不合格
若觀察到計數(shu)值C早于(yu)期望計數值出現
|
合(he)格
若(ruo)觀察到計數(shu)值C遲于期望(wang)計(ji)數值(zhi)出(chu)現
|
|
|
以小數(shu)表示的時間t
|
觀察到(dao)計(ji)數值
|
以沾上數表示的時間(jian)t
|
觀察(cha)到計數值(zhi)
|
0,0019
|
4
|
0,1922
|
0
|
0,0505
|
5
|
0,2407
|
1
|
0,0992
|
6
|
0,2893
|
2
|
0,1476
|
7
|
0,3378
|
3
|
0,1961
|
8
|
0,3864
|
4
|
0,2447
|
9
|
0,4349
|
5
|
0,2932
|
10
|
0,4834
|
6
|
0,3417
|
11
|
0,5320
|
7
|
0,3902
|
12
|
0,5805
|
8
|
0,4388
|
13
|
0,6291
|
9
|
0,4873
|
14
|
0,6676
|
10
|
0,5359
|
15
|
0,7262
|
11
|
0,5844
|
16
|
0,7747
|
12
|
0,6330
|
17
|
0,8233
|
13
|
0,6815
|
18
|
0,8718
|
14
|
0,7300
|
19
|
0,9203
|
15
|
0,7786
|
20
|
0,9689
|
16
|
1,0000
|
21
|
1,0000
|
17
|
注:以小數表示的(de)時間是時間的(de)百分率(不等級限(xian)值時t=1.000)
|
|
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在各指定(ding)的采(cai)樣點進(jin)行空氣(qi)采(cai)樣時,正(zheng)在計(ji)數的總粒子計(ji)數值(zhi)連續地與作為規(gui)定(ding)已采(cai)樣總量(liang)的比(bi)例函數的參考(kao)值(zhi)進(jin)行比(bi)較。如果正(zheng)在計(ji)數的總計(ji)數值(zhi)低(di)于(yu)與已采(cai)樣量(liang)相(xiang)應的參考(kao)限值(zhi),則正(zheng)在采(cai)樣的空氣(qi)被認為是符(fu)合規(gui)定(ding)的等級(ji)或濃度,采(cai)樣停止。
如(ru)果(guo)正在計(ji)數(shu)的(de)(de)總計(ji)數(shu)值高于與已采(cai)(cai)樣量相(xiang)應的(de)(de)參考限(xian)值,則正在采(cai)(cai)樣的(de)(de)空(kong)氣被認(ren)為不符合規定的(de)(de)等級(ji)或濃度,采(cai)(cai)樣停止,只要正在計(ji)數(shu)的(de)(de)數(shu)值處于上、下限(xian)之間,采(cai)(cai)樣就連續進(jin)行,直(zhi)到整個(ge)采(cai)(cai)樣被累積。
圖F.1繪出的(de)是觀察到計數值(zhi)C與期(qi)望計數(shu)值E的關系。期(qi)望計(ji)數值(zhi)E是在測量(liang)全部單次(ci)采樣空氣的(de)時(shi)間內產生20個(ge)計(ji)數的(de)流量(liang)(容(rong)積(ji)/時間)時采(cai)樣空氣的計數(shu),而且濃度應符合被考(kao)慮粒徑的規定限值。
表F.1提供了一等效的方法。把觀察到計數C的(de)(de)(de)時間(jian)與(yu)表(biao)(biao)中(zhong)測量全部單次采(cai)樣空氣要求(qiu)的(de)(de)(de)遞增(zeng)時間(jian)相比較。若計數的(de)(de)(de)出現早于表(biao)(biao)中(zhong)的(de)(de)(de)期望時間(jian),則(ze)(ze)是被采(cai)樣的(de)(de)(de)空氣不符(fu)合(he)規定限值。若計數的(de)(de)(de)出現遲(chi)于表(biao)(biao)中(zhong)的(de)(de)(de)期望時間(jian),則(ze)(ze)被采(cai)樣的(de)(de)(de)空氣符(fu)合(he)規定限值。最多(duo)要求(qiu)21次(ci)粒子得出時(shi)(shi)間(jian)與表中限定時(shi)(shi)間(jian)的對比。
F.3 采樣程序
F.3.1 順序采樣(yang)基準(zhun)
有(you)兩(liang)種鑒(jian)定數據收(shou)集結果的技術可(ke)供選擇。進(jin)展式計算機化的數據分析比(bi)較(jiao)好,在此推薦使用。
F.3.2 圖形式采樣對比
圖F.1表(biao)示按公式(shi)(F.1)和(F.2)建(jian)立的界限。截止(zhi)到E=20為(wei)限值(zhi),表示收(shou)集—全(quan)采(cai)樣量(liang)需要的時(shi)間,而C=20則為允(yun)許的最大觀察(cha)到計數(shu)值。
繪出觀察到計(ji)數(shu)值相對于(yu)粒(li)子(zi)濃度精(jing)確(que)等于(yu)規定級(ji)別的空氣(qi)的期望(wang)計(ji)數(shu)值。經過的時(shi)間與(yu)期望(wang)計(ji)數(shu)值的增加數(shu)相對應,E=20表示在粒子(zi)濃(nong)度為(wei)級別(bie)限(xian)值時(shi),累積—全采樣量所要(yao)求的時(shi)間。
隨(sui)著(zhu)采樣的進行(xing),記錄下(xia)作為時(shi)間函(han)數的粒子計數,并將該計數與圖F.1中(zhong)的上、下(xia)(xia)限(xian)線(xian)進(jin)行(xing)比較。如果累(lei)積(ji)觀察(cha)到(dao)計數與上限(xian)線(xian)相(xiang)交,該(gai)點的采樣停止,空氣(qi)被認(ren)為(wei)與規定等級限(xian)值(zhi)不相(xiang)符(fu)。如果累(lei)積(ji)觀察(cha)到(dao)計數與下(xia)(xia)限(xian)線(xian)相(xiang)交,該(gai)點的采樣停止,空氣(qi)被認(ren)為(wei)與規定等級限(xian)值(zhi)相(xiang)符(fu)。如果累(lei)積(ji)觀察(cha)到(dao)計數保持(chi)在上、下(xia)(xia)限(xian)線(xian)之(zhi)間,采樣繼續進(jin)行(xing)。
如在規(gui)定的采樣期(qi)結束時總(zong)計數(shu)為(wei)20或不到(dao)20,并(bing)且未與上限線(xian)相交,則空氣被認為符(fu)合等級限值。
F.3.3 圖表采樣比(bi)較
表(biao)F.1提(ti)供了—與順(shun)序(xu)采樣法(fa)(fa)等效(xiao)的方法(fa)(fa)。同樣基于公式(F.1)和(F.2)。表中(zhong)的時間t被賦予一個(ge)值(zhi)-“10000”,表示(shi)一個完整的單(dan)次采樣(yang)期間(jian)。如果空氣中含有被考慮(lv)粒徑的精確(que)的等級限值當量(liang)濃度,該次采樣(yang)量(liang)即是提供20個粒子必需(xu)要的(de)量。表(biao)中列出的(de)時間(jian)值是累(lei)積整(zheng)個單次采樣需(xu)要的(de)總時間(jian)之小數部分。
表(biao)F.1中順(shun)序(xu)采樣(yang)法的程序(xu)如下(xia):
隨著采樣的(de)(de)進行記錄下(xia)作為時(shi)間(jian)(jian)函數的(de)(de)粒子(zi)計(ji)數,并(bing)將各次(ci)觀(guan)察(cha)到計(ji)數的(de)(de)時(shi)間(jian)(jian)與(yu)(yu)表(biao)達式中兩列時(shi)間(jian)(jian)相比(bi)較(jiao)。如果與(yu)(yu)表(biao)左側(ce)的(de)(de)一(yi)列相比(bi),證明(ming)給定的(de)(de)累積觀(guan)察(cha)到計(ji)數的(de)(de)出(chu)(chu)現(xian)早(zao)于期(qi)望時(shi)間(jian)(jian),該(gai)點的(de)(de)采樣停止,空氣被認(ren)(ren)為與(yu)(yu)規(gui)定等(deng)級限(xian)值不相符(fu)。如果與(yu)(yu)表(biao)右側(ce)的(de)(de)一(yi)列相比(bi),證明(ming)累積觀(guan)察(cha)到計(ji)數的(de)(de)出(chu)(chu)現(xian)遲于期(qi)望時(shi)間(jian)(jian),該(gai)點的(de)(de)采樣停止,空氣被認(ren)(ren)為與(yu)(yu)規(gui)定等(deng)級限(xian)值相符(fu)。如果累積觀(guan)察(cha)到計(ji)數連續(xu)出(chu)(chu)現(xian)在兩列時(shi)間(jian)(jian)之間(jian)(jian),采樣繼(ji)續(xu)進行。如果與(yu)(yu)表(biao)左側(ce)的(de)(de)一(yi)列相比(bi)較(jiao)21次,計(ji)數仍繼續進行,并且沒有早于期望(wang)時間(jian)出現的(de)計(ji)數,空氣則(ze)符(fu)合全部單次采樣的(de)規定限值。